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南安普敦大学开设了世界第二个电子束光刻工厂

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这座房子在5月6日报道说,英国南安普敦大学宣布在4月30日当地时间在世界上开放第二次电子束光刻

众议院于5月6日报道说,南安普敦大学英国宣布了4月30日当地时间的全球第二次电子束光刻开放。这是日本以外的统一性的第一个设施,也是欧洲半导体工厂的第一次切割。根据这一点,与现有的商业技术的主要主要途径 - 激光图案,电子光光刻揭露了具有高能电子的光震托,以绘制半导体电路的模式。电子束光刻技术具有良好的分辨率,可以直接写入没有口罩的情况下,但它也具有低效率和复杂控制等弱点。在实际的商业生产中,它通常用于辅助制作面罩的辅助机构中,并且并不是基本过程的技术。英国科学技术部的国务卿帕特里克·瓦兰斯(Patrick Vallance)说:英国有一些最渴望的半导体结果全世界的Earch,新的Southampton Beam设施将大大提高我们国家的能力。通过对基础设施和才能的投资,我们为研究人员和支持者提供了支持,他们需要在英国形成下一代筹码。
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